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日本理音RIONKS-42C

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RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和氢氟酸。另外,也可检测化学机械抛···...
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RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和氢氟酸。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线和离线测试。

 

特点优势


光源镭射二极管(波长:780nm,额定输出:5mW)

镭射材料 人造石英PFA PTFE

流量10ml/分钟

粒径范围(7通道,标配) ;   ≥0.5μm;  1μm;   2μm;   3μm;   5μm;  10μm;  20μm 

可选通道 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.5~20μm

粒子数量 1200颗/ml

电源 DC12V(由KE-40B1供应)

尺寸.重量 125(H)X 240(W)  X 151(D)mm,大约:3.2kg

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