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日本理音RION KS-42A/KS-42AF

日本理音RION KS-42A/KS-42AF

RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和氢氟酸。另外,也可检测化学机械抛···...
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RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和氢氟酸。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线和离线测试。
 

                 

技术参数

光源镭射二极管(波长:830nm,额定输出:200mW)

 

镭射材料 KS-42A 人造石英PFA

 

KS-42AF 蓝宝石PFA(可测氢氟酸)

 

流量 10ml/分钟

 

粒径范围(5通道);  ≥0.1μm;  ≥0.15μm ;≥0.2μm;  ≥0.3μm;  ≥0.5μm    (可选配≥1.0μm)

 

可选通道 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.1,0.13~0.5μm

 

粒子数量 1200颗/ml

 

电源 DC12V(由KE-40B1供应)

 

尺寸.重量 125(H)X 240(W) X 151(D) mm,大约:4kg

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