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监测系统

在线监测系统,既避免了人工巡检的人为因素对洁净室环境的干扰,也满足获得连续生产数据的要求。

电子行业智能化顺序在线监测系统

电子行业智能化顺序在线监测系统

在应用洁净室技术的相关行业中,电子行业对洁净及相关受控环境依赖性最大,在平板显示、光电半导体、硬盘存储、设备光学、高精密制造等企业,生产环境的 品质直接影响到产品的品质,因此需对生产环境进行严格的监控。生产企业可在不同的洁···
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      电子行业粒子实时在线监测系统除了可选择无线监测系统外,还可以采用Manifold顺序粒子在线监测系统,这是一个较为经济的方案。该系统配有32个采样口(即可全选也可部分选择使用),系统依次对每个监测点进行采样,采样轮回周期取决于监测点数量,最小监测粒径可达0.1μm。亦可搭配无线系统使用。

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*多路监控多达32个点的位置                    

*自净时间短

*双向控制能力

*多点采样较为经济

*采样管路可长达38.1米

*采样点顺序可编程

*可与流量为28.3L/min(1立方英尺)AeroTRAK便携式粒子计数器相兼容

*综合控制器的低复杂性

*双向控制能力

*使用压力传感器以确保真空流量

*双向步进马达控制方向




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数据实时监控,报警

数据趋势分析

数据报告导出

3级权限管控

具备后期的扩展性

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