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洁净室中化学过滤器的使用位置

2024-10-25
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深圳市亿天净化技术有限公司

化学过滤器作为洁净室通风空调系统的一个组成部分,用于安装在洁净室内的各种位置,不同的位置提供不同程度的灵活性,并针对特定的污染物或污染源进行定位。


化学过滤器可以很容易地整合到现有的空气处理设备中,用于气态分子污染物(AMC)控制,可以是多个位置的过滤系统的组合,也可以是单个位置的多个过滤阶段的组合,基本上可以解决任何AMC问题,进而保护敏感的制程。

洁净室中化学过滤器的使用位置

 

 

洁净室中化学过滤器的使用位置

1)置于新风空调箱,移除由室外引进的污染;

2)置于循环回风空调箱,移除制程环境所产生的污染以节省新风量及新风空调负荷;

3)与风机过滤单元结合控制洁净室天花板气流出口的洁净;

4)微环境,接近制程设备机台端供给洁净气流。

洁净室中化学过滤器的使用位置

 

化学过滤器种类多,主要分为: 平板型化学过滤器 、W型化学过滤器、箱式化学过滤器、圆筒化学过滤模块、插片式化学过滤器、V型化学过滤模块等,能满足各类气态污染物过滤需求,助力企业优化生产工艺、提升产品良率,扎实推动企业节能降耗增效。


化学过滤器特点

▶采用新一代化学过滤技术,高效过滤各类污染气体,过滤效率≥95%

▶流畅的结构设计,低阻力,无递增压损

▶气体与滤材大面积接触,净化更充分

▶采用高效滤材,拥有更长的使用寿命和更高性能

▶ 无灰尘释放,具有一定的粉尘过滤效果

 

具体选择哪种类型的化学过滤器,需要根据污染物种类、浓度和处理风量等条件,确定合适的过滤器形式和滤料种类,并在使用过程中监测过滤器前后污染物的浓度变化,确定更换周期和使用寿命,以确保最佳的空气质量和污染控制效果。

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