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监测超净半导体环境的污染物控制解决方案(一)

 发布时间:2023-02-13      浏览次数: 次     参与评论
半导体制造 Semiconductor Manufacturing 半导体短缺和半导体更小的工...
  监测超净半导体环境的污染物控制解决方案(一)
       半导体制造
 
  Semiconductor Manufacturing
 
  半导体短缺和半导体更小的工艺节点竞争。集成电路(IC)的短缺要求从制造过程中获得更多的产出,因此行业领导者则在竞争更小的工艺节点。这些挑战要求对空气中的颗粒物污染进行监测,以确保产品无风险,产量(产品良率)提升,顺利通过洁净审核。TSI通过我们的高灵敏度粒子计数器提供从纳米粒子到亚微米粒子等完整的环境监测解决方案,满足半导体短缺和更小工艺节点的竞争需求。
 
  监测超净半导体环境的污染物控制解决方案(一)
 
  TSI 10 nm洁净室凝聚核粒子计数器(CPC)和0.1 μm粒子计数器(手持式粒子计数器和远程粒子计数器)是满足半导体行业关键需求的最佳组合。
 
  TSI 提供高灵敏度粒子计数器近60 余载,比任何其他粒子计数器公司历史更悠久。TSI仪器被用于世界各地国家级标准实验室,这些实验室要求卓越的准确性、重复性和可靠性。 绝不妥协于任一制造过程——相信TSI会监测到一切。
 
  独一无二的10nm测量
 
  0.1 μm尘埃粒子计数器不能检测纳米级粒子污染物-你需要CPC(凝聚核粒子计数器)。利用我们在CPC技术上数十年的经验,TSI AeroTrak® 9001洁净室凝聚核粒子计数器(CPC)是专为超洁净半导体制造提供可靠的、实时的纳米粒子检测,0.1 CFM流量用于检测空气或惰性压缩气体中的颗粒。
 
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