电子厂洁净度洁净方案
电子产品是我们所生活的世界的一部分。对小包装处理能力提升的一贯需求推动了组件尺寸向着纳米粒子尺寸范围发展。这意味着小型的纳米粒子会对生产工艺产生影响，进而影响到底线。TSI是纳米粒子检测方面的领军企业，能够帮助客户对工艺流程实时监测。
纳米粒子方案
AeroTrak 9110空气粒子计数器的敏感度低于100纳米，与繁复的系统相互融合，推进关键工艺的质量提升。
美国TSI 9110 型便携式尘埃粒子计数器严格遵守符合ISO 21501-4标准。通过NIST可追溯的PSL 微球、公认的粒子检验标准、TSI世界一流的筛分器和凝聚核粒子计数器来进行校准。
特点和优势
精确检测 0.100 μm 的粒子
0.100 至 10.0 μm 粒径范围
可同时检测多达八个通道的粒子数据
1.0 CFM (28.3 L/min) 流速
符合 ISO 21501-4 标准中所有要求
I 级和 II 级无尘室检测最佳选择
完全符合 ISO 21501-4 要求
可生成 ISO-14644-1 ， EU GMP Annex1 和 FS209E 的符合性报告
通过 TRAKPRO Lite Secure 软件输出的外部认证报告
采用增强 HeNe 激光
高可重复和高可靠检测 / 数据
数据存储： 250 区， 999 个位置和 10,000 个样本
USB 、以太网和脉冲输出
工业级高分贝报警
允许存储和回放特定测试 / 配置
显示多达三个环境参数
不锈钢外壳
无缝整合 M32-01 多点采样器
无尘室分类达到 ISO I 级
应用范围
粒子污染监测
已安装过滤器检漏测试
无尘室认证
