AMC、VOC洁净室超低浓度第三方检测系统

　　在集成半导体器件、磁盘驱动器以及液晶显示器等高科技产业，随着产品工序复杂性的增加和特征尺寸的不断缩小，空气中的气态分子污染物(Airborne Molecular Contaminants,简称“AMC”)常会引起产品成品率下降、性能退化及失效，例如在半导体行业，AMC会引起光阻剂的T型覆盖、腐蚀效应、非均匀的氧化层生长、晶片表面特性变化、栅氧化层完整性降低等。在面板厂OLED行业，AMC、VOC使曝光机镜头不透明，造成曝光量变化 、造成T-TOP显影缺陷、对铝/铜配线腐蚀 、同样腐蚀效应，造成环境中的颗粒物污染;

　　气态分子污染物种和分类如表I所列， 是以四类化学物质的英文名称的第一个字母来分类，分别为分子酸(MA)、分子碱(MB)、可凝结物质(MC)和掺杂物(MD)。

　　洁净室生产环境的内部和外部都可以是AMC的来源。因此，必须要考虑到整个环境以精确评估可能带来的破坏效应。这包括：从外界进入生产车间的空气，以及各项工艺过程的挥发气体。

　　综上所述，洁净室所有生产设备运行并实行量产后，生产工艺及通风系统对生产环境中的污染源是否会对产品的良率造成影响，需要做对应的低浓度的检测评判分析。

　　深圳市亿天净化技术有限公司针对半导体及液晶面板厂率先推出洁净室超低浓度AMC、VOC室内环境第三方应用检测方案，提供技术分析报告同时提供解决方案。

　　深圳市亿天净技术技术有限公司成立于2005年，一直致力于受控空气环境和液体环境品质的发展。我们不仅是一个优秀的仪器代理商和授权技术维修中心，同时还是一个出色的系统集成商。主要服务于电子面板、半导体、生物制药、动物实验室、医疗、食品、科研院校、第三方检测机构、商业建筑环境等各大行业，提供静态、动态的室内AMC、VOC环境污染检测及控制、微污染监测、工艺制程环境监测、工艺水系统环境监测系统整体解决方案。