电子行业无尘房尘埃粒子检测标准-亿天净化

电子行业无尘房尘埃粒子检测标准

ISO为全球各国标准化团体（ISO 会员团体）的联合会。其国际标准工作一般是由ISO各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣，均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织，无论是政府的还是非政府的组织，同样可参加此项工作。ISO与国际电气技术委员会（IEC）在电气技术标准化方面进行紧密合作。

国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。草案作为国际标准颁布至少需要75%的会员团体投赞成票。

国际标准ISO 14644-1由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。

ISO 14644在洁净室及相关受控环境 的总标题下，由下述各部分组成：
第1部分：空气洁净度等级划分
第2部分：为认证与ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求
第3部分：计量和测试方法
第4部分：设计、施工和启动
第5部分：运行
第6部分：术语和定义
第7部分：增强的洁净装置

表1   洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级

ISO等级序数（N）	大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值（pc/m³空气浓度限值按3.2中的公式计算）
ISO等级序数（N）	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm
ISO Class 1	10	2
ISO Class 2	100	24	10	4
ISO Class 3	1 000	237	102	35	8
ISO Class 4	10 000	2 370	1 020	352	83
ISO Class 5	100 000	23 700	10 200	3 520	832	29
ISO Class 6	1 000 000	237 000	102 000	35 200	8 320	293
ISO Class 7				352 000	83 200	2 930
ISO Class 8				3 520 000	832 000	29 300
ISO Class 9				35 200 000	8 320 000	293 000
注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。