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表面沉降粒子检测仪APMON
型号:荷兰 APMON 表面沉降粒子检测仪
价格: 请在线咨询
代理级别:金牌代理
别称:荷兰APMON,表面沉降粒子检测仪
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APMON表面沉降粒子检测仪的工作原理
 
检测设备采用一定面积的内置玻璃板承载坠落颗粒,玻璃板以45度角放置,这样坠落的颗粒在玻璃板上沉积的过程就会被全部检测到,APMON检测仪对大于20μm的沉积颗粒的数量和尺寸以及在传感器上的分布位置进行测量,通过测量得出平均颗粒沉积率。
 
测量的数据能够帮助解决洁净室常规手段监控不到的污染成分,并能帮助优化用户的生产流程。
 
当产品突发性不良率上升时,首先会怀疑洁净室的空气洁净度,使用尘埃粒子计数器进行检测是常规作法。如果测量结果正常,就要进行更进一步的调查。
 
通过对表面洁净度和粒子沉降的测量显示很多颗粒的尺寸大于50μm或100μm,而这些大尺寸颗粒的来源通常是操作者和洁净室不洁净的表面,一般尺寸大于25μm的坠落颗粒是不能通过洁净室空气循环系统排出的。
 
沉降粒子的来源:人员产生粒子、携带高浓度粒子、散发粒子;设备和物料产尘或表面存在粒子;洁净室材料表面存在粒子等,通过改善个人行为、更衣流程、培训、清洁生产加工设备、清洁工具和洁净室,可明显降低不良品率。
 
APMON表面沉降粒子监测仪主要包括以下部分:
 
设备主体     传感器
 
玻璃板托盘
 
APMON表面沉降粒子检测仪的工作原理:检测设备采用一定面积的内置玻璃板承载坠落颗粒,玻璃板以45度角放置,这样坠落的颗粒在玻璃板上沉积的过程就会被全部检测到,APMON检测仪对大于20μm的沉积颗粒的数量和尺寸以及在传感器上的分布位置进行测量,通过测量得出平均颗粒沉积率。
 
测量的数据能够帮助解决洁净室常规手段监控不到的污染成分,并能帮助优化用户的生产流程。
 
 
 

特点优势
PMON的优势
监控洁净室的操作质量
.评估当地洁净室质量
.确定(更高)颗粒沉积的事件
评估控制方式的效果
.清洁
.衣服
行为
在产品暴露时期的风险评估
提升生产工作的方法
确定提升洁净度方法的影响
决定清洁频率
提升人员的意识
技术参数

参数    型号

APMON

可检测粒子范围

20μm~1000μm

测量表面

25cm²

PDR(颗粒沉降率)

99%置信区间±6%

储存数据

10000组

设备连接传感器的最大数量

以太网连接 6个

蓝牙连接 2个

 
 
应用范围
颗粒沉积在国际标准化组织 14644-3
l在国际标准化组织14644-3 B. 11.2.中表明APMON测量颗粒沉积速率(PDR),尽管有另一种测量方法来直接测量表面浓度和颗粒沉积率,即在更多更短的时间间隔内不移动板材。
测量方法使用例子是在航天工业中,粒子脱落光度计决定板材的覆盖范围。
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