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0.1μm粒子计数器如何高效监测超净半导体环境污染物

2024-05-11
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深圳市亿天净化技术有限公司

半导体生产环境面临着严峻的挑战,将最先进的尘埃粒子检测技术集成到半导体制造工艺中,用高灵敏度粒子计数器提供完整的环境监测解决方案,以确保产品无风险,产量(产品良率)提升。

TSI 提供高灵敏度粒子计数器近60余载,比任何其他粒子计数器公司历史更悠久。TSI仪器被用于世界各地国家级标准实验室,这些实验室要求卓越的准确性、重复性和可靠性。

TSI AeroTrak®便携式粒子计数器9110

TSI AeroTrak®便携式粒子计数器9110型可精确测量0.100μm的粒子,粒径范围为0.100至10.0 μm,可同时检测多达八个通道的粒子数据,1.0 CFM (28.3 L/min)流速,能够满足半导体洁净室应用的苛刻要求。

0.1μm粒子计数器如何高效监测超净半导体环境污染物

它所使用的专利*氦氖(HeNe)激光技术可以极大程度提高信噪比,且具有极低的维护成本。9110型完全遵从ISO-14644-1标准,是I级和II级洁净室检测的最佳选择。这款仪器适用于洁净室微粒子监测、过程监控和过滤器测试应用等。

0.1μm粒子计数器如何高效监测超净半导体环境污染物

9110型可以通过打印机和配套的TrakProTM LiteSecure下载软件生成符合ISO 14644-1标准的通过或非符合的报告。它不仅可以作为单机粒子计数器使用,也可以集成于在线粒子监测系统。还提供四年激光保修,这是市面上唯一一款提供此售后保证的便携式 0.100um 粒子计数器。

0.1μm粒子计数器如何高效监测超净半导体环境污染物

洁净度对半导体制造工艺(如洁净室合规性、最终产品质量)具有重大影响,实现无污染的半导体制造对于减少缺陷和良率损失以及提高设备的可靠性是至关重要的。

亿天净化作为洁净技术应用综合解决方案提供商,能帮助用户解决在产品制造过程中因为环境的各种干扰对产品良率影响的不确定性,帮助用户进行溯源,降低环境因素的影响,从而让客户能够全身心投入到工艺的研发和改良当中。

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