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化学过滤器在AMC污染物控制中的应用

2023-09-11
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深圳市亿天净化技术有限公司

芯片是所有电子工业的基础,对人类社会影响极其巨大,随着半导体技术不断发展,芯片线宽尺寸不断缩小,制程更复杂、更繁琐,很多关键工艺(如光刻工艺)需要在特定的洁净环境下进行。除了控制常规的悬浮颗粒污染物的浓度,还需对洁净室内直径更小的气态分子污染物(AMC)浓度进行严格控制。

化学过滤器在AMC污染物控制中的应用

为了控制AMC,生产芯片的洁净厂房一般会在新风处理机组(MAU)和风机过滤单元(FFU)上安装化学过滤器,对洁净厂房内特定区域进行相关空气治理。

 

1.新风处理机组(MAU)安装化学过滤器

洁净室的空气过滤系统有一个新风空气处理机组,是初级空气处理装置,用来提供过滤的室外空气。进入MAU的外部空气是由外部来源(如包含洁净室建筑物外的空气)提供的,外部空气通常通过一个重要的预过滤系统,然后空气通过加热、通风和空调(HVAC)设备进行调节。

化学过滤器在AMC污染物控制中的应用

新风处理机组是最直接和有效安装化学过滤器的位置,以便控制来自净化设施外的污染物,MAU装置中的过滤系统不会影响设施内的污染源,由于外部环境空气仅通过这些过滤器一次,因此需要高AMC过滤效率,化学过滤器能有效去除室外空气中的有毒有害气体,从而保证进入室内的空气达到标准。

 

2.风机过滤单元(FFU)安装化学过滤器

在微电子行业,由于对AMC的控制越来越严格,仅在空调箱中对 AMC控制很难达到要求。在FFU中安装化学过滤器是一种创造局部超洁净环境的方法,事实证明当化学过滤器与FFU一起使用时,它们特别有效。FFU一般用于过滤洁净室内循环空气中的气体污染物。

化学过滤器在AMC污染物控制中的应用

FFU化学过滤器一般安装在FFU中HEPA/ULPA上游位置,用于有效去除AMC。根据洁净室工作区存在的各种有害气体,用于FFU的每个化学过滤器可以定制使用不同类型的滤料去除其相关有害气体。

 

常用的化学过滤器

平板型化学过滤器 

平板型化学过滤器 

W型化学过滤器

W型化学过滤器

箱式化学过滤器

箱式化学过滤器

圆筒化学过滤模块

圆筒化学过滤模块

V型化学过滤模块

V型化学过滤模块

产品特点

▶ 安装方便,操作简单;

▶ 高效过率,比传统活性炭更广谱针对性去除气态分子污染物;

▶ 低阻力,无递增压损,节能环保;

▶ 无灰尘释放,具有一定的粉尘过滤效果;

▶ 改善并提高室内空气品质;

▶ 使用寿命长,通过化学反应法去除气态污染物,气态污染物与滤料发生化学反应,有效杜绝空气环境的二次污染,永久去除气态污染物。

化学过滤器可以有效控制AMC,亿天净化一直以提供优质的产品和服务著称,多种类型的化学过滤器通过合理的配置能达到去除污染物的最佳效果,保护敏感的电子半导体制程不受AMC污染物的影响,从而提高产品质量,提升产品良率。

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