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看不见的污染,看得见的危害丨AMC污染物控制方案

2023-08-28
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深圳市亿天净化技术有限公司

气态分子级污染物 (AMC)已经成为影响产品良率的主要因素之一,特别是电子半导体行业,在生产厂房建设过程中产生并残留的及生产制造过程中产生的AMC会通过物理和化学反应侵蚀厂房和工艺设备材料最终影响甚至改变正常工艺制程,大大降低产品良率。

 

1.AMC来源

看不见的污染,看得见的危害丨AMC污染物控制方案

AMC污染源分两大部分

1.室外大气:主要来源于外部环境中的气相污染物,如厂区内外的工业废气、汽车废气、自然环境挥发等;

2.室内环境:主要来源于厂房建设及临时用材料(如环氧、涂料、油漆、胶及胶水、塑料制品等)、施工工序(如焊接、热熔、切割打磨等)、室内人员、工艺生产过程中的气体或化学品的泄漏、散发、挥发等。

 

2. AMC分类

看不见的污染,看得见的危害丨AMC污染物控制方案

AMC种类复杂,来源广泛,控制难度高。根据SEMI发布的标准中将AMC分为四类:

1.酸性分子污染物:HF、SO2、CL2等;

2.碱性分子污染物:NH3等;

3.有机化合物:SiH4,碳氢化合物等;

4.掺杂物:如磷(P)、硼(B)等。

 

3.AMC控制


1.污染源控制:通过检测分析识别污染物来源,采取措施对污染源进行控制,减少AMC的产生和释放;

2.通风控制:引入洁净空气,排走或者稀释污染的空气;

3.“根除”控制:目前行业中广泛应用并证明是最有成效的控制AMC方式一般是:通过物理吸附或化学反应控制和去除污染物。

看不见的污染,看得见的危害丨AMC污染物控制方案

化学过滤器的化学反应来根除控制AMC是目前被行业极力推荐及其效果也深受信赖的一种方式,它可以将污染物同吸附剂中的化学物质发生化学反应,从而达到去除污染物的目的,亿天净化滤料正是通过这一原理来实现。相比物理吸附,这种化学吸附效率更高,而且会将有毒有害气体通过化学反应氧化为无害的固体。

4.产品选型


通过检测识别空气中AMC的具体种类和浓度,亿天净化可针对每种环境定制滤料和相关解决方案。

看不见的污染,看得见的危害丨AMC污染物控制方案

亿天净化化学过滤器适用于AMC控制的要素:

 

1.效率:高效过滤,比传统活性炭更广谱去除气态分子污染物

2.兼容性:安装简单,可以轻松安装于现有的空调机组中,规格多样.可根据客户的需求定制不同的尺寸和形状。

3.压损:低阻力,无递增压损,节能环保

4.洁净度:通过化学反应法去除气态污染物,气态污染物与滤料发生化学反应,有效杜绝空气环境的二次污染,永久去除气态污染物,使用寿命长。

 

5.AMC监控

 

AMC被决定控制并实行,不管使用种控制方式,都必须能够以实现监控这种方式知晓环境是否能满足指定的AMC控制标准,主要包括洁净空间和各级过滤系统的最终控制效果。

AMC化学污染物在线监测系统

AMC化学污染物在线监测系统

亿天净化提供的AMC化学污染物控制综合解决方案中,会运用相关智能在线监测系统对洁净室内部分区域AMC含量浓度等环境参数进行实时监测,实时掌握空气洁净度的变化趋势,以及任何一次超出控制的异常情况,才能让污染物在对工艺、产品可能产生不良影响之前就采取措施,清除可能的不良作业、污染源和污染事件。

看不见的污染,看得见的危害丨AMC污染物控制方案

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