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电子半导体生产环境超洁净解决方案

2023-08-17
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深圳市亿天净化技术有限公司

作为数字科技浪潮的核心支撑产业之一,全球半导体行业正经历飞速发展,芯片线宽发展至纳米(nm)级别,但半导体制程复杂,对气态分子污染物(AMC)敏感的区域比较多,而AMC会危害生产工艺关键环节,造成半导体晶体表面的氧化和侵蚀,引起成品合格率降低,因此,AMC的控制技术已经成为半导体良率提升的必要手段。

 

亿天净化深耕布局半导体赛道多年,可向半导体行业客户提供电子半导体生产环境超洁净解决方案,助力打造精准化、低能耗的半导体洁净室,以满足行业对技术革新的需求,不断提高产品良率。

电子半导体生产环境智能在线监测系统

电子半导体生产环境智能在线监测系统


AMC的控制中,首要步骤是通过检测分析识别污染物来源,制定针对性管控措施。同时在新风、循环风以及机台区域考虑安装合适的过滤器来保护生产环境。对于洁净室内部分区域AMC含量的异常波动,需要运用在线监测的数据去系统分析任何一次超出控制的异常情况,找到引起波动的真实原因,进而找到有效的处理方法。

ESKY--过滤器产品系列

ESKY--过滤器产品系列


亿天净化在电子半导体生产环境超洁净解决方案中提供包括空气质量检测、控制和监测等服务,内含化学过滤器、粉尘过滤器、AMC化学污染物在线监测系统、电子半导体生产环境智能在线监测系统、微粒子可视化系统、粒子计数器、AMC检测柜、智能FFU等,高效节能降耗,为电子半导体生产提供全方位的洁净、节能的空气解决方案。


智能FFU节能控制系统

智能FFU节能控制系统

电子半导体生产环境超洁净解决方案

可以针对客户对空气洁净度的不同需求,通过采样、现场勘测、技术诊断,评估洁净室内、外部空气质量,确认气态分子污染物(AMC)主要成分及浓度,帮助客户量身定制最匹配实际环境需求的解决方案,为用户提供管理洁净室的新模式,实现节能降耗和智慧洁净。

电子半导体生产环境超洁净解决方案

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