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电子行业智能化在线监测系统

在应用洁净室技术的相关行业中,电子行业对洁净及相关受控环境依赖性最大,在平板显示、光电半导体、硬盘存储、设备光学、高精密制造等企业,生产环境的 品质直接影响到产品的品质,因此需对生产环境进行严格的监控。生产企业可在不同的洁净环境级别下进行尘埃粒子在线监控,并可将压差、温湿度、风速、噪音、 照度 、特殊气体、纯水供应等环境参数纳入本监测系统当中。

*多路监控多达32个点的位置                    

*自净时间短

*双向控制能力

*多点采样较为经济

*采样管路可长达38.1米

*采样点顺序可编程

*可与流量为28.3L/min(1立方英尺)AeroTRAK便携式粒子计数器相兼容

*综合控制器的低复杂性

*双向控制能力

*使用压力传感器以确保真空流量

*双向步进马达控制方向




 

数据实时监控,报警

数据趋势分析

数据报告导出

3级权限管控

具备后期的扩展性

支持邮件发送

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设备远程控制

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